实验室用的材料检测光学显微镜都配有显微成像装置 采用光学放大是检验半导体材料和器件的主要方法之一。 它包括科研金相显微镜、低倍立体多功能显微镜以及低倍和高倍 三目非立体偏光显微镜. 此外，多功能显微镜中各种附属装置如干涉仪、相衬和干涉衬度也是 很有用的.鉴于大多数半导体对可见光不透明， 偏振光研究(在矿物研究中广泛使用)通常只有采用红外转换器 代替常规的目镜时才能进行. 为了储存各种光学检验的结果，常规地使用低倍和高倍 拍摄技术.大多数实验室用的金相显微镜都配有显微成像装置. 若需要更高的放大倍数，尤其是要同时增加景深时，可使用扫描电子显微镜. 由于它们的价格、复杂性和规模，妨碍了它们象光学显微镜那样广泛地应用. 但是，它们被引进半导体工业后，对微电路相互连接系统的了解 已经产生了非常大的影响.